1、炉体:为立式炉壳,其内、外层均为304不锈钢做成的圆筒,外层镜面抛光处理。内外筒与前后法兰焊成一个整体,炉体开有电极孔、抽气孔、放气孔、热电偶孔、红外孔及观察孔等,各接口的材质均为不锈钢。
2、炉盖:由内外封头和法兰焊成,中间可通水冷却,炉盖开启装置。
3、炉底:由内外封头和法兰组成,中间通水冷却,下部设有充放气孔,固定在炉体下部,设有电极引出装置。
4、发热体及隔热屏:发热元件采用高纯片制作而成,有效增加辐射面积,保证温区的均匀性。隔热屏最里面一层采用钨板,其他的采用模板和不锈钢板制作。
5、真空系统:主要由直联泵、分子泵或扩散泵,气动挡板阀、气动截止阀、数显复合真空计、真空管路、放气阀、支架等组成;真空管道与泵之间采用金属波纹软管快速接头联接(减缓震动)。